发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5371560(A) 申请公布日期 1978.06.26
申请号 JP19760147342 申请日期 1976.12.08
申请人 SEIKO INSTR & ELECTRONICS 发明人 KOIKE YUUJI
分类号 H01L21/60;H01L21/58;H01L21/66 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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