| 发明名称 |
MANUFACTURING APPARATUS FOR BAND TYPE SILICON CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5371689(A) |
申请公布日期 |
1978.06.26 |
| 申请号 |
JP19760146573 |
申请日期 |
1976.12.08 |
| 申请人 |
KOGYO GIJUTSUIN |
发明人 |
MAKI NAOAKI;ITOU HIROSHI;MATSUI TOSHIROU |
| 分类号 |
C30B15/34;C01B33/02;C30B29/06;H01L21/18;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B15/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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