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发明名称 DOPING METHOD TO COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5370667(A) 申请公布日期 1978.06.23
申请号 JP19760146742 申请日期 1976.12.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 TAKAYANAGI SHIGETOSHI;HIRAO TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/22 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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