发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5370673(A) 申请公布日期 1978.06.23
申请号 JP19760146313 申请日期 1976.12.06
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIRAI KAZUNARI
分类号 H01L29/78;H01L21/22;H01L21/265;H01L21/316 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
地址