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发明名称 METHOD OF PRODUCING SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5370774(A) 申请公布日期 1978.06.23
申请号 JP19760147008 申请日期 1976.12.07
申请人 发明人
分类号 H01L47/02;H01L21/28;H01L21/52;H01L21/58;H01L29/864 主分类号 H01L47/02
代理机构 代理人
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