| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES POSITIVEN RESISTBILDES |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2753658(A1) |
申请公布日期 |
1978.06.22 |
| 申请号 |
DE19772753658 |
申请日期 |
1977.12.02 |
| 申请人 |
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. |
发明人 |
HATZAKIS,MICHAEL |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/039;(IPC1-7):G03C1/68 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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