发明名称 |
HEAT TREATING METHOD FOR GALLIUM ARSENIDE SUBSTRATE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5368698(A) |
申请公布日期 |
1978.06.19 |
申请号 |
JP19760145096 |
申请日期 |
1976.12.01 |
申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ISHII TAKASHI;MITSUI SHIGERU |
分类号 |
H01L21/316;C25D11/32;H01L21/314 |
主分类号 |
H01L21/316 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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