发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5368971(A) 申请公布日期 1978.06.19
申请号 JP19760145047 申请日期 1976.12.01
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UCHIYAMA YORIHIRO;ABE RIYOUJI
分类号 H01L21/60;H01L21/28 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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