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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5367362(A) 申请公布日期 1978.06.15
申请号 JP19760142541 申请日期 1976.11.27
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAWATA TAKAHARU;WADA KUNIHIKO;TOUGEI YOSHIIKU
分类号 H01L21/324;H01L21/316 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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