| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DIELEKTRISCHEN SCHICHT AUF EINEM BI TIEF 12 GEO TIEF 20 -SUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2753787(A1) |
申请公布日期 |
1978.06.15 |
| 申请号 |
DE19772753787 |
申请日期 |
1977.12.02 |
| 申请人 |
SONY CORP. |
发明人 |
OKAMOTO,TSUTOMU;TAMURA,HIDEMASA |
| 分类号 |
H05B33/22;C30B19/00;C30B19/02;G02F1/00;G02F1/03;G02F1/05;G09F9/30;H01B3/00;H01B3/12;H03H3/00;H05B33/12;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
H05B33/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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