发明名称
摘要
申请公布号 CH600575(A5) 申请公布日期 1978.06.15
申请号 CH19760010066 申请日期 1976.08.06
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 RICHARD CARLTON JOY;INGRID EMESE MAGDO;HOPEWELL JUNCTION;ALFRED PHILLIPS JR.
分类号 H01L21/331;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):01L29/76;01L21/22;01L21/20 主分类号 H01L21/331
代理机构 代理人
主权项
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