| 发明名称 |
LINEAR ENCODER TYPE MANIPULATOR |
| 摘要 |
PURPOSE:To accurately measure the movement of a manipulator's hand upon detection of X - Y shift of the manipulator using a linear encoder for contactlessly detecting X- and Y- direction tables. |
| 申请公布号 |
JPS5366665(A) |
申请公布日期 |
1978.06.14 |
| 申请号 |
JP19760141244 |
申请日期 |
1976.11.26 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
UEMATSU SHIYUNEI;FUJIOKA SHIYUNICHIROU |
| 分类号 |
G05D3/00;B25J9/16;B25J13/02;H01L21/60 |
主分类号 |
G05D3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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