发明名称 ELECTRON GUN UNIT OF ELECTRON MICROSCOPE AND EQUIVALENT UNIT
摘要
申请公布号 JPS5366151(A) 申请公布日期 1978.06.13
申请号 JP19760141147 申请日期 1976.11.26
申请人 HITACHI LTD 发明人 MATSUI ISAO;NAMIKAWA YOSHIHISA
分类号 H01J37/06 主分类号 H01J37/06
代理机构 代理人
主权项
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