发明名称 SEMICONDUCTOR HEAT DIFFUSION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5365659(A) 申请公布日期 1978.06.12
申请号 JP19760141685 申请日期 1976.11.24
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KAWASE YASUYOSHI;YADOIWA YOSHIAKI
分类号 C30B31/16;H01L21/223 主分类号 C30B31/16
代理机构 代理人
主权项
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