PROCEDE DE CONTROLE DU DEPOT DE COUCHES PAR PULVERISATION REACTIVE ET DISPOSITIF DE MISE EN OEUVRE

摘要

L'invention a pour objet un procédé de contrôle du dépôt de couches par pulvérisation réactive.

Selon l'invention, on fixe tous les paramètres du procédé de dépôt à l'exclusion de l'un des paramètres gouvernant le bombardement de la cible par les ions, le potentiel de la cible par exemple, on agit sur ce paramètre de regulation pour mettre en marche le processus de dépôt, on mesure à chaque instant la chute de pression totale dans l'enceinte, à partir de la pression initiale, et on contrôle cette chute de pression totale par modification dudit paramètre de régulation. Le dispositif de mise en oeuvre comporte des moyens d'asservissement de la pression totale dans l'enceinte à une consigne par action sur le paramètre de régulation. Application au contrôle de la vitesse de dépôt et des caractéristiques stoechiométriques des couches déposées.