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发明名称 TREATING APPARATUS IN GAS PHASE
摘要
申请公布号 JPS5364676(A) 申请公布日期 1978.06.09
申请号 JP19760139576 申请日期 1976.11.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 MARUYAMA YASUO
分类号 C23C16/44;B01J19/00;C23C16/455;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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