发明名称 SOLID ION SOURCE
摘要
申请公布号 JPS5364089(A) 申请公布日期 1978.06.08
申请号 JP19760138328 申请日期 1976.11.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAMURA HIFUMI;ISHITANI TOORU
分类号 G01N23/225;G01Q70/14;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/256;H01J37/317;H01J49/26;H01L21/265;H05H7/08 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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