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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5362984(A) 申请公布日期 1978.06.05
申请号 JP19760138910 申请日期 1976.11.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 FUJITA TSUTOMU;YONEDA TADANAKA;TAKEMOTO TOYOKI;YAMADA HARUYASU
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/04;H01L29/72 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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