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发明名称
摘要
申请公布号 JPS5321353(Y2) 申请公布日期 1978.06.03
申请号 JP19730127070U 申请日期 1973.11.01
申请人 发明人
分类号 F23Q2/28;F23Q3/00;H01L41/00;(IPC1-7):F23Q3/00 主分类号 F23Q2/28
代理机构 代理人
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