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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5361967(A) 申请公布日期 1978.06.02
申请号 JP19760136934 申请日期 1976.11.16
申请人 FUJITSU LTD 发明人 AKATSUKA TSUTOMU
分类号 H01L21/322;H01L21/304;H01L21/329 主分类号 H01L21/322
代理机构 代理人
主权项
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