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发明名称 MASK FOR COPYING PATTERN
摘要
申请公布号 JPS5359501(A) 申请公布日期 1978.05.29
申请号 JP19760132664 申请日期 1976.11.04
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA HATSUO
分类号 G03F1/00;G03F1/60;G03F1/72;H01L21/00;H01L21/027 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
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