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发明名称
HEAT TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号
JPS5358760(A)
申请公布日期
1978.05.26
申请号
JP19760134429
申请日期
1976.11.08
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
FUJII EIZOU
分类号
H01L21/22;H01L21/68
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
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