| 摘要 |
La présente invention concerne une échelle micrométrique pour microscope électronique à balayage. Cette échelle comprend sur un substrat 10 des couches métalliques alternées. Les deux métaux présentent des coefficients d'émission électronique nettement différents pour fournir des signaux émis contrastés quand ils sont balayés par un faisceau électronique. Le premier métal, de préférence de l'or, est déposé en couches uniformes d'environ 40 à 80 nm d'épaisseur 21 à 27. L'autre métal, de préférence du nickel est déposé en plusieurs couches ayant des épaisseurs allant d'un micron (pour la couche 12 la plus proche du substrat) à 20 microns pour la couche externe 17. L'élément multicouche résultant est coupé en plusieurs échantillons et chaque échantillon est monté sur la tranche. L'échelle est étalonnée en utilisant un échantillon similaire mesuré par un interféromètre laser à polarisation. Application à l'étalonnage des microscopes électroniques à balayage. |
