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发明名称 DEPOSITION METHOD IN ATMOSPHERE GAS
摘要
申请公布号 JPS5358439(A) 申请公布日期 1978.05.26
申请号 JP19760133154 申请日期 1976.11.08
申请人 DAN KAGAKU KK 发明人 HANAJIMA SHIGEHARU
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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