| 发明名称 |
HIGH FREQUENCY SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5357758(A) |
申请公布日期 |
1978.05.25 |
| 申请号 |
JP19760131721 |
申请日期 |
1976.11.04 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
MURAMATSU SHINICHI;KATSUTOU HISAO;HARADA YUKIYOSHI;KAMOSHITA GENICHI |
| 分类号 |
C23C14/36;C23C14/35;C23C14/40;H01L21/203;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/36 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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