VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATGEBUNDENEM, GROSSFLAECHIGEM SILICIUM,申请号DE19762652218-传众专利搜索

发明名称	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON SUBSTRATGEBUNDENEM, GROSSFLAECHIGEM SILICIUM
摘要
申请公布号	DE2652218(A1)	申请公布日期	1978.05.24
申请号	DE19762652218	申请日期	1976.11.16
申请人	WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH	发明人	AUTHIER,BERNHARD,DIPL.-PHYS.;RATH,HEINZ-JOERG,DIPL.-CHEM.DR.;SCHMIDT,DIETRICH,DIPL.-PHYS.DR.;HOFER,JOHANN
分类号	C23C16/24;C30B11/00;C30B11/12	主分类号	C23C16/24
代理机构		代理人
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