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发明名称
摘要
申请公布号 DE2534795(C3) 申请公布日期 1978.05.24
申请号 DE19752534795 申请日期 1975.08.04
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN 发明人 BINDER, JOHANN, ING.(GRAD.), 8034 UNTERPFAFFENHOFEN
分类号 G03F7/26;G03F7/038;G03F7/20;G03F7/38;H01L21/027;H01L21/312;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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