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发明名称 BOAT FOR LIQUID PHASE EPITAXIAL GROWTH
摘要
申请公布号 JPS5356966(A) 申请公布日期 1978.05.23
申请号 JP19760132127 申请日期 1976.11.02
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 FUKUI TAKASHI;KOBAYASHI TAKESHI;TAKANASHI YOSHIFUMI
分类号 C30B19/06;H01L21/208 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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