| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET AANBRENGEN VAN EEN DIFFUSIE- BARRIERE OP EEN HALFGELEIDERSUBSTRAAT DOOR MID- DEL VAN KATHODESPUTTEREN. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL7712708(A) |
申请公布日期 |
1978.05.22 |
| 申请号 |
NL19770012708 |
申请日期 |
1977.11.18 |
| 申请人 |
LOIC GUSTAVE HENRY EN PIERRE NOEL FAVENNEC BEIDEN TE LANNION, FRANKRIJK. |
发明人 |
|
| 分类号 |
C23C14/06;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/20 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
