发明名称 THIN FILM INTERFEROMETER
摘要
申请公布号 JPS5355042(A) 申请公布日期 1978.05.19
申请号 JP19760130278 申请日期 1976.10.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 NAITOU HATSUHIKO;MUTOO KATSUTOSHI
分类号 G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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