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发明名称 PROCESS FOR PREPARING ALPHAAHGS FILM
摘要
申请公布号 JPS5355487(A) 申请公布日期 1978.05.19
申请号 JP19760130310 申请日期 1976.10.29
申请人 MORIRIKA KK;KUNIOKA AKIO 发明人 NAKADA TOKIO;KUNIOKA AKIO
分类号 C23C14/06;H01L21/331;H01L29/73 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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