发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5354973(A) 申请公布日期 1978.05.18
申请号 JP19760130749 申请日期 1976.10.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKASHIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOUSEI;NAGANO KAZUTOSHI
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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