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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号
JPS5354973(A)
申请公布日期
1978.05.18
申请号
JP19760130749
申请日期
1976.10.29
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
NAKASHIMA TATSUNORI;KAJIWARA KOUSEI;NAGANO KAZUTOSHI
分类号
H01L21/76;H01L21/316
主分类号
H01L21/76
代理机构
代理人
主权项
地址
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