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发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5354489(A)
申请公布日期
1978.05.17
申请号
JP19760129774
申请日期
1976.10.28
申请人
SUWA SEIKOSHA KK
发明人
TSUDA AKIHITO
分类号
H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/78
主分类号
H01L21/8238
代理机构
代理人
主权项
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