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发明名称 DETERMINING CHANNEL WIDTH IN A SEMICONDUCTOR BODY
摘要
申请公布号 GB1510777(A) 申请公布日期 1978.05.17
申请号 GB19770009653 申请日期 1977.03.08
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L21/66;G01R31/26;H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/544;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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