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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5314193(B2)	申请公布日期	1978.05.16
申请号	JP19720035579	申请日期	1972.04.07
申请人		发明人
分类号	H01L21/301	主分类号	H01L21/301
代理机构		代理人
主权项
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