| 发明名称 |
ROTATING POSITION RELATION ADJUSTING METHOD |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5353978(A) |
申请公布日期 |
1978.05.16 |
| 申请号 |
JP19760128933 |
申请日期 |
1976.10.27 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
YASUDA HIROSHI;TSUCHIKAWA HARUO;NAKAMURA MORITAKA;BAN YASUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/027;G03F7/20;G03F9/00;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/312 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
