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发明名称 SPUTTERING PROCESS
摘要
申请公布号 JPS5353800(A) 申请公布日期 1978.05.16
申请号 JP19760127823 申请日期 1976.10.26
申请人 NIPPON TELEGRAPH & TELEPHONE 发明人 TAGO AKIO;TAKEDA YUUJI
分类号 C23C14/50;G11B5/84;G11B5/85;G11B5/851;H01F10/00;H01F41/18 主分类号 C23C14/50
代理机构 代理人
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