| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5353961(A) |
申请公布日期 |
1978.05.16 |
| 申请号 |
JP19760128255 |
申请日期 |
1976.10.27 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
USUI TAIJI;MATSUOKA SUSUMU;OOTA YUTAKA |
| 分类号 |
H01L21/762;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/322;H01L21/76 |
主分类号 |
H01L21/762 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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