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发明名称
SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5353254(A)
申请公布日期
1978.05.15
申请号
JP19760127815
申请日期
1976.10.26
申请人
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO
发明人
IKEDA TADASHI;ITOU SHINTAROU
分类号
H01L21/768;H01L21/28;H01L21/331;H01L29/73
主分类号
H01L21/768
代理机构
代理人
主权项
地址
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