| 摘要 |
<P>L'invention concerne un dispositif de commande de déviation d'un faisceau d'électrons. </P><P>Il comporte un premier générateur produisant un signal triangulaire variable à une vitesse relativement basse, un second générateur qui produit un signal à gradins variables à une vitesse relativement élevée et un circuit de permutation qui attaque l'un ou l'autre des premier et second générateurs dont le signal de sortie est utilisé comme signal de déviation d'un faisceau d'électrons. </P><P>L'invention s'applique notamment à un dispositif d'exposition de pastilles semi-conductrices à un faisceau d'électrons.</P>
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