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发明名称 PRODUCTION OF SEMICODUCTOR UNIT
摘要
申请公布号 JPS5352068(A) 申请公布日期 1978.05.12
申请号 JP19760126233 申请日期 1976.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 TSURUOKA MASAO;WAKUI TAKAYUKI
分类号 H01L25/07;H01L21/50;H01L21/768;H01L27/04 主分类号 H01L25/07
代理机构 代理人
主权项
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