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发明名称 IIL DEVICE
摘要 PURPOSE:To manufacture I<2>L device in which the lowering in integration is prevented and the speed and power consumption product PD is increased, with a given constitution.
申请公布号 JPS5351982(A) 申请公布日期 1978.05.11
申请号 JP19760126085 申请日期 1976.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 USAMI MITSUO
分类号 H01L27/082;H01L21/331;H01L21/8226;H01L27/02;H01L29/73 主分类号 H01L27/082
代理机构 代理人
主权项
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