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发明名称 WAFER FEEDER
摘要
申请公布号 JPS5351976(A) 申请公布日期 1978.05.11
申请号 JP19760126050 申请日期 1976.10.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKIKUCHI KATSUMI;SAKUMICHI KUNIYUKI;KOIKE HIDEKI;SHIKAMATA ICHIROU
分类号 H01L21/677;H01J37/30;H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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