发明名称 SELECTIVE GROWTH METHOD FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要 PURPOSE:To easily obtain the selective growth layer with a good uniformity, by making crystal growth thru the provision of the low melting point metallic layer and high melting point metallic layer on the substrate of chemical semiconductor.
申请公布号 JPS5351964(A) 申请公布日期 1978.05.11
申请号 JP19760127055 申请日期 1976.10.21
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 ISHIHARA OSAMU;OOTSUBO CHIKAYUKI;MITSUI SHIGERU
分类号 C30B19/00;H01L21/208;H01L33/30;H01L33/36 主分类号 C30B19/00
代理机构 代理人
主权项
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