| 发明名称 |
PRODUCTION OF SUBSTRATE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5350672(A) |
申请公布日期 |
1978.05.09 |
| 申请号 |
JP19760125670 |
申请日期 |
1976.10.19 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
FUKUNAGA SHINOBU;YAMANO TAKESHI;YASUOKA MASAHIKO |
| 分类号 |
H01L29/78;C30B25/18;C30B29/20;H01L21/20;H01L21/86;H01L27/12;H01L29/76;H01L29/786 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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