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发明名称
CHARACTERISTIC PROPERTIE MESURING METHOD AND APPARATUS OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号
JPS5350983(A)
申请公布日期
1978.05.09
申请号
JP19760126602
申请日期
1976.10.20
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KAGAWA KEIICHI
分类号
G01R31/26;H01L21/66
主分类号
G01R31/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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