发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPS5350974(A) 申请公布日期 1978.05.09
申请号 JP19760126617 申请日期 1976.10.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRONICS CORP 发明人 HATSUTORI HIROTSUGU;NAKAGAWA SHIYOUICHI
分类号 H01L21/60;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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