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发明名称 IMPURITY DIFFUSION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5349943(A) 申请公布日期 1978.05.06
申请号 JP19760123815 申请日期 1976.10.18
申请人 HITACHI LTD 发明人 NANBA MITSUO;SUZUKI MICHIO;MAKI MICHIYOSHI
分类号 C30B31/06;H01L21/223 主分类号 C30B31/06
代理机构 代理人
主权项
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