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发明名称 METHOD OF SELECTIVE ETCHING OF RESIN FILM BELONGING TO POLYAMLDE SERIES
摘要
申请公布号 JPS5349068(A) 申请公布日期 1978.05.04
申请号 JP19760122779 申请日期 1976.10.15
申请人 HITACHI LTD 发明人 YAMANAKA ICHISUKE
分类号 C08J7/02;C08J7/12;H01L21/302;H01L21/308 主分类号 C08J7/02
代理机构 代理人
主权项
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