| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5348675(A) |
申请公布日期 |
1978.05.02 |
| 申请号 |
JP19760123500 |
申请日期 |
1976.10.15 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ABE RIYOUJI;UCHIYAMA YORIHIRO;TAKADA CHIYUUICHI;SERIGANO MAKOTO |
| 分类号 |
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/265;H01L21/283;H01L21/316;H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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